面向半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上游原材料生產(chǎn)企業(yè)、中游晶圓生產(chǎn)企業(yè)，采用獨(dú)立開發(fā)的光學(xué)明暗場檢測系統(tǒng)，對半導(dǎo)體原片、外延片、無圖形晶圓的外觀缺陷進(jìn)行檢測。檢測精度7μm檢測鏡頭高清工業(yè)鏡頭整機(jī)尺寸（mm）1800*1300*2250