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廣州文明機電有限公司

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2024-12-16 07:26:5244
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  • 廠商性質:其他
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  • 所在地區:廣州市

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JBX-3200MV是用于制作28nm～22/20nm節點的掩模版/中間掩模版（mask/reticle）的可變矩形電子束光刻系統。的技術實現了高速、高精度和高可靠性。是基于加速電壓50kV的可變矩形電子束和步進重復式的光刻系統?

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