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大氣機械手SRBJ1A-AS3491

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更新時間：2023-09-11 13:31:13瀏覽次數：213次

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沈陽新松機器人自動化股份有限公司

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產品簡介

高潔凈等級，高精度，高速傳片，耐腐蝕，碰撞保護，Mapping功能，SEMI認證，提供接口及末端定制。

詳細介紹

大氣機械手廣泛用于硅晶圓以及LED藍寶石基片搬運。手臂采用*的結構加強了手臂的剛性，并有效抑制振動，輕量化設計滿足高速要求。本體的制造工藝改進有效降低成本，提升市場競爭力。材料、加工以及表面處理多方面優選，以實現高潔凈度。具有多重安全保護功能。肘部和腕部靈活控制，使得機器人可以采用任意姿勢來取放晶元，允許更多的片盒直線排布，更節省空間，適應性更強。是半導體行業的優勢之選。

更多詳情，請單擊新松潔凈產品資料庫

結構形式Mechanical Structure		柱坐標型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
負載Payload	名稱name	晶圓wafer
	直徑diameter	Φ200mm/Φ300mm
	重量weight	≤0.5kg
自由度數DOF		3
回轉直徑Maximum Swing diameter		520mm
運動范圍 Moving Range	升降軸 (Z軸)Up/Down( Z)-Axis	330mm
	回轉軸 (T軸) Rotational(T)-Axis	330°
	伸展軸 (R軸) Extension(Z)-Axis	R736mm
速度 Maximum Moving Speed	升降軸 (Z軸)Up/Down( Z)-Axis	330mm/s
	回轉軸 (T軸) Rotational(T)-Axis	360°
	伸展軸 (R軸) Extension(Z)-Axis	900mm/s
重復定位精度 Repeatability	升降軸 (Z軸)Up/Down( Z)-Axis	±0.1 mm(3σ)
	回轉軸 (T軸) Rotational(T)-Axis	±0.01°(3σ)
	伸展軸 (R軸) Extension(Z)-Axis	±0.1 mm(3σ)